{"product_id":"ieej-mag16096","title":"Si基板上へのNd-Fe-B系厚膜磁石の成膜と微細加工","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG16096\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/08\/09\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDeposition of Nd-Fe-B thick film magnets on Si substrates and their micromachining\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e清水 大(長崎大学),竹馬 雄(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),藤原 良元(東京工業大学),進士 忠彦(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDai Shimizu(Nagasaki university),Yu Chikuba(Nagasaki university),Akihiro Yamashita(Nagasaki university),Takeshi Yanai(Nagasaki university),Masaki Nakano(Nagasaki university),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki university),Ryogen Fujiwara(Tokyo Institute of Technology),Tadahiko Shinshi(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＮｄ－Ｆｅ－Ｂ　系厚膜磁石|　ＰＬＤ（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法|Ｓｉ基板|微細加工|Nd-Fe-B thick film magnets|PLD(Pulsed Laser Deposition)method|Si substrate|micromachining\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eすでに我々はPLD法を用い，Si基板上のNd-Fe-B系磁石膜の成膜を報告してきた。本稿では，磁石膜の界面とSi基板の界面が熱処理時の試料の破壊に及ぼす影響に着目した。更には，上記試料の微細加工に関する結果も報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe have reported PLD-fabricated Nd-Fe-B thick film magnets deposited on Si substrates. In the report, we focused on the effect of the boundary between a Si substrate and a  film magnet on the destruction of samples during an annealing process. Furthermore, the micromachining of the above-mentioned sample was demonstrated.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,237 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46387588694255,"sku":"IEEJ-MAG16096-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_fe633b74-3e3a-4090-8ea7-0cc2ecdbff07.png?v=1744424268","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag16096","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}