{"product_id":"ieej-mag16204","title":"真空アーク蒸着法により作製したSi基板上Nd-Fe-B系磁石膜の諸特性に及ぼす放電エネルギーの影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG16204\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/12\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEffect of discharge energy on various properties in Nd-Fe-B film magnets deposited on Si substrates prepared using vacuum arc deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岩下 拳士(長崎大学),白岩 優人(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKenshi Iwashita(Nagasaki University),Yuto Shiraiwa(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e真空アーク蒸着法|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ|Ｓｉ|放電エネルギー|vacuum arc deposion|Nd-Fe-B|Si|discharge energy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e真空アーク蒸着法を用いて，厚さ500nmの熱酸化被膜付きSi基板上へのNd-Fe-B磁石膜の成膜を行った。放電エネルギーが44Jの場合，得られた試料の厚さとNd含有量の機械的特性の関係は，以前報告されたPLD法の結果と同じ傾向を示した。一方，放電エネルギーの減少により異なる機械的特性を示した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eDeposition of Nd-Fe-B film magnets on Si substrates with 500 nm-thick thermal oxide film was carried out using a vacuum arc deposition method. In the case of discharge energy of 44 J, the mechanical properties as a function of the Nd contents together with thickness of the obtained samples had a same tendency compared with the previously reported results of PLD-made films. On the other hand, the reduction in the discharge energy indicated the differnet mechanical property.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,157 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46387596165359,"sku":"IEEJ-MAG16204-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4da631a1-9b33-4dd9-9537-783e2d51a096.png?v=1744424609","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag16204","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}