{"product_id":"ieej-mbe10166","title":"高誘電率基板を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMBE10166\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 医用・生体工学研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/11\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSensitivity enhancement of transmission line type thin film sensor using by high permittivity substrate\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小島 健(東北学院大学),佐藤 弘二(東北学院大学),薮上 信(東北学院大学),加藤 和夫(東北学院大学),小澤 哲也(仙台高等専門学校),小林 伸聖(電気磁気材料研究所),荒井 賢一(電気磁気材料研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKojima Ken(Tohoku-Gakuin University),Sato Kouji(Tohoku-Gakuin University),Yabukami Shin(Tohoku-Gakuin University),Katou Kazuo(Tohoku-Gakuin University),Ozawa Tetuya(Sendai National College of Technology),Kobayasi Nobukiyo(Research Institute for Electric and Magnetic Materials),Arai Ken iti (Research Institute for Electric and Magnetic Materials)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eセラミック基板|薄膜磁界センサ|伝送線路|感度向上|ceramic substrate|thin film magnetic field sensor|transmission line|sensitivity enhancement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高誘電率をもつセラミック基板(比誘電率=115)と磁性CoNbZr薄膜をもちいた伝送線路型薄膜磁界センサを開発した。CoNbZr薄膜(25mm x 25mm, 膜厚8 μm)を近接させたコプレーナ線路型磁界センサを作製した。150 degree\/Oeの位相変化を実現し、以前に報告した、テフロン基板(比誘電率=5)をもちいた磁界センサと比較すると、10倍以上向上した。SN比は、交流の小さな磁界(270 pT , 11 Hz)を加えたとき、以前のセンサより約3倍上昇した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe have developed a transmission line type thin film sensor using by ceramic substrate with high permittivity (εr=115) and amorphous CoNbZr film. We fabricated coplanar line type sensor with CoNbZr film (25mm x 25mm, 8 μm in thickness). A phase change of 150 degree\/Oe was achieved, improving more than 10 times compared with previously reported sensor using by Teflon substrate (εr=5). Signal to noise ratio improved about 3 times higher than previous senor when AC small field (270 pT, 11Hz) was applied.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e900 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46376715059439,"sku":"IEEJ-MBE10166-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5f1473b6-0199-42b5-b24a-50707b9f81c6.png?v=1744113006","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mbe10166","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}