{"product_id":"ieej-mc11002","title":"デカボラン(B10H14)を用いた物理化学混合気相成長法による高品質MgB2薄膜の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMC11002\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 金属・セラミックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/10\/23\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of high-quality MgB2 thin films by hybrid physical-chemical vapor deposition using decaborane (B10H14)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山﨑 圭介(東京農工大学),西雪 和樹(東京農工大学),内藤 方夫(東京農工大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYamazaki Keisuke(Tokyo Univ. Agriculture and Technology),Nishiyuki Kazuki(Tokyo Univ. Agriculture and Technology),Naito Michio(Tokyo Univ. Agriculture and Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e二硼化マグネシウム|デカボラン|エピタキシャル薄膜|高温その場成膜法|物理化学混合気相成長法|分子線エピタキシー法|MgB2|Decaborane|Epitaxial film|High-temperature in situ growth|Hybrid physical-chemical vapor deposition|Molecular beam epitaxy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eMgB2には様々な薄膜成長法があるが、その一つにHPCVD (hybrid physical-chemical vapor deposition)法がある。HPCVD法は高温・高Mg蒸気圧で成膜を行うため、MgB2がMg気体と相平衡になり厳密な組成制御不要であるという利点が存在するが、Bの供給源として空気中で発火するジボラン(B2H6)を用いるため広くは行われていない。そこで、本研究では、Bの供給源として大気中で安定なデカボラン(B10H14)を採用し、高品質のMgB2薄膜の作製に成功した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe report the growth of high-quality MgB2 films by thermally decomposing decaborane (B10H14) in Mg vapor. B10H14 is solid at ambient temperatures and stable in air, and hence it is much more convenient to use in thin film growth than highly explosive diborane (B2H6) that has been commonly used in hybrid physical-chemical vapor deposition of MgB2 films.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e2,122 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46380724158703,"sku":"IEEJ-MC11002-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8a3b3b87-e099-453a-b8eb-1d983a15cbe2.png?v=1744204245","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mc11002","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}