{"product_id":"ieej-mc13008","title":"HPCVD法によるMgB2薄膜結晶の生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMC13008\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 金属・セラミックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/11\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe characteristics MgB2 films using hybrid physical-chemical vapor deposition method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐川 真太郎(東京農工大学),内藤 方夫(東京農工大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSAGAWA Shintaro(Tokyo University of Agriculture and Technology),NAITO Michio(Tokyo University of Agriculture and Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e二ホウ化マグネシウム|薄膜成長|ＨＰＣＶＤ法|エピタキシー|転移温度|デカボラン|magnesium diboride|thin film growth|HPCVD method|epitaxy|transition temperature|decaborane B10H14\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e二ホウ化マグネシウム（MgB2）は、未来の超伝導エレクトロニクスに対し、大きなポテンシャルを有している。MgB2を成長させる上で最も重要な問題は、相を安定させるために、高いMg蒸気圧が必要であるという点である。HPCVD（Hybrid physical-chemical vapor deposition）法は、高いMg蒸気圧を生み出し、高純度な薄膜の成長に対してクリーンな環境を保つことができるため、MgB2の薄膜成長における最も有効な方法である。薄膜は、Al2O3基板のc面上に成長させた。同様に、SiC基板への成膜も行った。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eMagnesium diboride (MgB2) has significant potential for future electronics. The most serious problem is the high Mg vapor pressure required for the phase stability. Hybrid physical-chemical vapor deposition (HPCVD) has been the most effective technique for depositing MgB2 thin films. It generates high magnesium vapor pressures and provides a clean environment for the growth of high purity MgB2 films. The films were deposited on c-cut Al2O3 and SiC substrates. \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e945 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46385041015023,"sku":"IEEJ-MC13008-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d379be4f-0897-48ae-adba-bd89d10c2c7e.png?v=1744333373","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mc13008","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}