{"product_id":"ieej-mec13109","title":"粗微動間の連結分離機構を有するステージの衝突力モデルを用いた衝突力緩和制御","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMEC13109\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/08\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eReducing Impact Force Control for Stage with Decouplable Structure of Coarse and Fine Part by Impact Model\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e徳山 享大(東京大学),藤本 博志(東京大学),弓座 大輔(ニコン),佐伯 和明(ニコン)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTokuyama Kyota(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Yumiza Daisuke(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e精密位置決め|衝突力|高速高精度位置決め|２段アクチュエータ|Precise positioning|Impact force|Fast and precise positioning|Dual-Stage\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e株式会社ニコンとの共同研究として本研究室で，従来のスキャンステージを，粗動部と微動部に分離したカタパルトステージを作成した。粗動部は高加減速させる際，微動部はスキャン動作時に用いる。これによりステージやコントローラの設計の自由度が増し，位置決めの高速高精度化が可能となると考えられる。動作時，粗動部と微動部との接続部で衝突力が生じ，追従性能や装置の劣化を招きうる為，衝突力を緩和させる制御を行う必要がある。本稿では，衝突力モデルを用い，カタパルトステージの衝突力緩和制御を行った。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e2,762 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46385012244719,"sku":"IEEJ-MEC13109-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_7155415a-140d-450b-87d1-d868fe32ecc8.png?v=1744332076","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mec13109","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}