{"product_id":"ieej-mec14054","title":"粗微動間連結分離機構を有する精密位置決めステージの整定時間短縮制御法の提案","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMEC14054\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/10\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProposal of  Setting Time Shortening Control for High-precision Stage with Decouplable Structure of Fine and Coarse Part\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e矢崎 雄馬(東京大学),藤本 博志(東京大学),堀 洋一(東京大学),坂田 晃一(ニコン),原 篤史(ニコン),佐伯 和明(ニコン)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYazaki Yuma(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Hori Yoichi(The University of Tokyo),Sakata Koichi(NIKON CORPORATION),Hara Atsushi(NIKON CORPORATION),Saiki Kazuaki(NIKON CORPORATION)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e精密位置決め|高速高精度位置決め|２段アクチュエータ|整定時間|終端状態制御|Precise positioning|Fast and precise positioning|Dual-Stage|Setting Time|Final State Control\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e粗微動間連結分離機構を有する精密位置決めステージのステージモデル，衝突モデルを紹介し，それ独自の制御系を提案した。そして提案した制御系の妥当性をシミュレーションによって示したが，定速領域突入時に位置誤差が生じることが分かった。そこで，定速領域突入時の位置誤差を小さくする方法として，加速時に終端状態制御を用いる手法を提案し，提案した手法の有効性をシミュレーション，実験により示した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,513 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46385074831599,"sku":"IEEJ-MEC14054-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0c455b81-4028-4123-80f8-00a2bfe8f8d7.png?v=1744334753","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mec14054","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}