{"product_id":"ieej-mzk15001","title":"サファイア隔膜真空計の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMZK15001\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 ものづくり研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2015\/03\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of a Sapphire Capacitance Diaphragm Gauge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e長田 光彦(アズビル)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNagata Mitsuhiko(Azibil Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eサファイア|隔膜真空計|耐食性|Sapphire|Capacitance Diaphragm Gauge|Corrosion resistance\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eセンサ材料として単結晶サファイアを使用し高精度，高信頼性，小形，軽量化を実現した静電容量式サファイア隔膜真空計を開発した。単結晶サファイアは極めて高い耐食性，耐熱性を有し，また優れた機械的特性も有しているため，腐食性ガスや高温環境下でも高精度であり長期安定性の優れた真空計を実現した。またマイクロプロセッサを用いた信号処理により，直線性に優れ温度特性の少ない高精度な計測を実現している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eUsing single-crystal sapphire as the sensor material, we have developed Sapphire Capacitance Diaphragm Gauge, which is high-precision, highly-reliable, small-sized and light weight.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e711 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46387579420911,"sku":"IEEJ-MZK15001-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_81b03e50-7829-491c-b8f2-0ec1bb7344fc.png?v=1744423684","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mzk15001","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}