{"product_id":"ieej-oqd05009","title":"レーザー誘起背面湿式加工法による石英ガラスの表面微細加工","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eOQD05009\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/03\/04\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSurface micro-structuring of silica glass by laser-induced backside wet etching\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e新納 弘之(産業技術総合研究所 光技術研究部門),川口 喜三(産業技術総合研究所 光技術研究部門),佐藤正健 (産業技術総合研究所 光技術研究部門),奈良崎 愛子(産業技術総合研究所 光技術研究部門),黒崎 諒三(産業技術総合研究所 光技術研究部門)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroyuki Niino(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI)),Yoshizo Kawaguchi(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI)),Tadatake Sato(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI)),Aiko Narazaki(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI)),Ryozo Kurosaki(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AlST),Photonics Research Institute(PRI))\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e石英ガラス|表面微細加工|エキシマレーザー|全団体UVレーザー|アブレーション|メカニズム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e727 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46393499386095,"sku":"IEEJ-OQD05009-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_15e69e19-b0cd-4033-ad0d-2d2d6d91ec3a.png?v=1744693247","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-oqd05009","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}