{"product_id":"ieej-oqd05011","title":"CO2レーザ生成プラズマからの極端紫外光の発光特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eOQD05011\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　光・量子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/09\/09\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCharacteristics of Extreme Ultraviolet Emission from CO2 Laser-Produced Plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高橋 昭彦(九州大学),田中 博樹(九州大学),松本 篤史(九州大学),橋本 祐樹(九州大学),岡田 龍雄(九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkihiko Takahashi(Kyushu University),Hiroki Tanaka(Kyushu University),Atsushi Matsumoto(Kyushu University),Yuuki Hashimoto(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e極端紫外光|EUV|リソグラフィー|レーザ生成プラズマ|CO2レーザ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e701 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46393499451631,"sku":"IEEJ-OQD05011-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c29d67a0-44c3-4a21-8cfa-adb05e9b4df0.png?v=1744693253","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-oqd05011","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}