{"product_id":"ieej-oqd09046","title":"レーザ生成プラズマEUV光による透明材料の直接加工","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eOQD09046\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子･情報･システム部門　光･量子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/05\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDirect micromachining of transparent materials using EUV radiation from laser produced plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高橋 昭彦(九州大学),岡崎 功太(九州大学),中村 大輔(九州大学),岡田 龍雄(九州大学),鳥居 周一(筑波大学),牧村 哲也(筑波大学),村上 浩一(筑波大学),新納 弘之(産業技術総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkihiko Takahashi(Kyushu University),Kouta Okazaki(Kyushu University),Daisuke Nakamura(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University),Shuichi Torii(University of Tsukuba),Tetsuya Makimura(University of Tsukuba),Kouichi Murakami(University of Tsukuba),Hiroyuki Niiro(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eEUV光|軟X線|透明材料|微細加工|レーザ生成プラズマ|シリカガラス|Extreme ultraviolet|Soft X-ray|Transparent materials|Micromachining|Laser-produced plasma|Silica glass\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e576 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46393741639919,"sku":"IEEJ-OQD09046-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_186e01be-050b-4799-b9b7-d3f1f31d5d29.png?v=1744706535","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-oqd09046","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}