{"product_id":"ieej-oqd10019","title":"PLD 法における TiO2 プラズマプルームの挙動解析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eOQD10019\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDynamic Behaviors of TiO2 Plasma Plume under PLD\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e坂東 孝彦(東京理科大学),山下 正文(東京理科大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakahiko Bando(Tokyo University of Science),Masafumi Yamashita(Tokyo University of Science)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eレーザーアブレーション|プラズマプルーム|酸化チタン|薄膜|ＣＣＤ　カメラ|lpulsed aser ablation|plasma plume|TiO2|thin film|CCD camera\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eNd:YAGレーザーを用いたPLD法によるTiO2薄膜作製にはプラズマプルームの挙動が大きく影響する。本研究は時間分解能0.25μsの画像取り込み法を用い、プラズマプルーム挙動解析を行った。プラズマの伝播は、Dragモデルとほぼ一致し、指数関数的に拡散していくことを明らかにした。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eDynamic Behaviors of TiO2 plusma plume have been studied by fast photography with a gated CCD camera with time resolution 0.25 μs and by optical emission spectroscopy under ambient oxygen pressures.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e832 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46393842401519,"sku":"IEEJ-OQD10019-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_99a583e0-56ce-4562-b824-3a4c6844f420.png?v=1744710226","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-oqd10019","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}