{"product_id":"ieej-oqd11023","title":"EUVリソグラフィ用LPP光源の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eOQD11023\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of LPP Light Source for EUV Lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e住谷 明(コマツ[(株)小松製作所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSumitani Akira(Komatsu Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＥＵＶ光源|レーザ生成プラズマ|ＣＯ２レーザ|錫ドロップレット|磁場プラズマ制御|EUV source|Laser Produced Plasma|CO2laser|Tin Droplet||Magnetic Plasma Guiding\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eEUVリソグラフィの実現には、信頼性のある高出力な光源の開発が決め手となる。高出力化への要求を満たす出力の拡張性があり、量産用光源となる可能性が高いと考えられるレーザ生成プラズマ方式EUV光源（LPP光源）の研究開発状況について述べる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThe development of a reliable high power EUV light source is one of the major technical challenges for the implementation of EUV lithography. A review is given on the development of a laser produced plasma (LPP) light source for high volume manufacturing (HVM) EUV lithography.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e968 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46393921110255,"sku":"IEEJ-OQD11023-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b316f613-e5ff-4abd-97a8-d5ef61ebbfd5.png?v=1744714240","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-oqd11023","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}