{"product_id":"ieej-ppt05002","title":"テーパーピンチ型短波長プラズマ光源の動作特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT0502\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/01\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCharacteristics of tapered capillary pinched-plasmas for EUV source\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e菊池 淳史 中島 充夫 河村 徹 堀田 栄喜 堀岡 一彦()\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKikushi Atsushi Nakajima Mitsuo Kawamura Tohru Hotta Eiki Horioka Kazuhiko()\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eEUV光源|キャピラリー放電|Zピンチ|テーパキャピラリー|高エネルギー密度プラズマ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,243 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359708238063,"sku":"IEEJ-PPT05002-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d68e3da5-2dc2-4af8-873b-e39f4acceae5.png?v=1743492746","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt05002","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}