{"product_id":"ieej-ppt05003","title":"プラズマフォーカスによるEUV発生実験","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT0503\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/01\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEUV Generation by Plasma Focus\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e久保田 有吾 横尾 知行 大嶋 伸明 江 偉華 八井 浄 徳地 明()\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYogo Kubota Tomoyuki Yokoo Nobuaki Oshima weeihua Jiang Kiyoshi Yatsui Akira Tokuchi()\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルスパワー|EUV|磁気パルス圧縮|プラズマフォーカス|光リソグラフィ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e910 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359750836463,"sku":"IEEJ-PPT05003-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_611e1304-6a3f-4345-b068-3d55f8de8ce3.png?v=1743494741","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt05003","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}