{"product_id":"ieej-ppt06009","title":"シリコントレンチエッチングにおけるシースの役割","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT06009\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/02\/06\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eRole of Sheath in Silicon Trench Etching\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e矢嶋 理子(富士電機デバイステクノロジー),脇本 節子(富士電機デバイステクノロジー),藤掛 伸二(富士電機デバイステクノロジー),望月邦雄市川 幸美(富士電機デバイステクノロジー),松村 昭作(武蔵工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAyako Yajima(Fuji Electric Advanced Technology Co.Ltd.,),Setsuko Wakimoto(Fuji Electric Advanced Technology Co.Ltd.,),Shinji Fujikake(Fuji Electric Advanced Technology Co.Ltd.,),Yukimi Ichikawa(Fuji Electric Device Technology Co.Ltd.,),Shosaku Matsumura(Musashi Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eエッチングレート|ラングミュアプロ＾ブ計測|放電パワー|開口率\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e914 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359224123631,"sku":"IEEJ-PPT06009-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_454e7197-9729-4ac4-b979-d99f288c41ff.png?v=1743472159","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt06009","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}