{"product_id":"ieej-ppt06012","title":"レーザ生成プラズマからのEUV光および高速粒子放出特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT06012\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/02\/06\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEmission Characteristics of EUV Light and Fast Particles from Laser-Produced Plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岡田 龍雄(九州大学),田中 博樹(九州大学),松本 篤(九州大学),橋本 祐樹(九州大学),高橋 昭彦(九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTatsuo Okada(Kyushu University),Hiroki Tanaka(Kyushu University),Atsushi Matsumoto(Kyushu University),Yuki Hashimoto(Kyushu University),Akihiko Takahashi(Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e極端紫外光源|光リソグラフィ|レーザ生成プラズマ|スズ|レーザプラズマ計測\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e845 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359224615151,"sku":"IEEJ-PPT06012-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ea7a7be0-1097-4637-b0b7-16764c7f946a.png?v=1743472169","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt06012","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}