{"product_id":"ieej-ppt06013","title":"大電流パルスパワー電源を用いたEUV光源に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT06013\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/02\/06\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEUV Source Development using a High-Current Pulsed Power Generator\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大嶋 伸明(長岡技術科学大学),久保田 有吾(長岡技術科学大学),横尾 知行(長岡技術科学大学),江偉華 (長岡技術科学大学),八井 浄(長岡技術科学大学),徳地 明(ニチコン株式会社)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNobuaki Oshima(Nagaoka University of Technology),Yugo Kubota(Nagaoka University of Technology),Tomoyuki Yokoo(Nagaoka University of Technology),Weihua Jiang(Nagaoka University of Technology),Kiyoshi Yatsui(Nagaoka University of Technology),Akira Tokuchi(Nichicon Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルスパワー|プラズマフォーカス|EUV\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e640 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359224680687,"sku":"IEEJ-PPT06013-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d1fcab2f-80b4-4582-a224-646a715eaacb.png?v=1743472172","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt06013","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}