{"product_id":"ieej-ppt06014","title":"パルスパワーで駆動される極端紫外(EUV)光源プラズマの高効率化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT06014\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/02\/06\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePlasma Efficiency of Pulse Power based Extreme-Ultra-Violet (EUV) Radiation Sources\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e堀岡 一彦(東京工業大学),志甫 諒(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学),河村 徹(東京工業大学),中島 充夫(東京工業大学),MASNAVI Majid(東京工業大学),菊地 淳史(東京工業大学),高橋 謙作(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKazuhiko Horioka(Tokyo Institute of Technology),Shiho Makoto(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology),Tohru Kawamura(Tokyo Institute of Technology),Misuo Nakajima(Tokyo Institute of Technology),Majid Masnavi(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Kikuchi(Tokyo Institute of Technology),Kensaku Takahashi(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電磁パルス|パルス･パワー|高速ピンチ放電|紫外光源|EUV|キャピラリー\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e737 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359224746223,"sku":"IEEJ-PPT06014-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ae01de63-9b59-499f-a798-643bb1ef5244.png?v=1743472175","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt06014","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}