{"product_id":"ieej-ppt06035","title":"シャンティングアークを用いた窒素含有プラズマ生成とCNx成膜-の適用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT06035\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/06\/30\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProduction of carbon-contained nitrogen plasma using shunting arc discharge for carbon nitride film preparation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e今西 圭吾(岩手大学),熊谷 倫(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学),行村 建(同志社大学),須田善行 (北海道大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKeigo Imanishi(Iwate University),Osamu Kumagai(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University),Ken Yukimura(Doshisha University),Yoshiyuk iSuda(Hokkaido University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eアーク放電|シャンティングアーク|複合プラズマ|プラズマイオン注入|CNx薄膜\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e706 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359225860335,"sku":"IEEJ-PPT06035-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9883534b-961f-444a-9d9e-94fdacb8d486.png?v=1743472262","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt06035","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}