{"product_id":"ieej-ppt07012","title":"EUV光源用レーザー生成スズプラズマから発生する中性原子及び高速イオンの特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT07012\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/02\/03\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCharacteristics of the Neutral Atoms and Fast Ions Generated from Laser-Produced Tin Plasma for EUV Light Sources\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田丸 晃士(九州大学),橋本 祐樹(九州大学),中村 大輔(九州大学),高橋 昭彦(九州大学),岡田 龍雄(九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKoji Tamaru(Kyushu University),Yuki Hashimoto(Kyushu University),Daisuke Nakamura(Kyushu University),Akihiko Takahashi(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e光リソグラフィ|EUV光|レーザー生成プラズマ|デブリ|レーザー誘起蛍光法|Light lithography|EUV light|Laser-produced plasma|Debris|Laser-induced fluorescence Spectroscopy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e476 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359280845039,"sku":"IEEJ-PPT07012-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bb04e6c1-5b7a-4007-aa97-6da89c8ec8ca.png?v=1743474136","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt07012","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}