{"product_id":"ieej-ppt07024","title":"ドロップレットフリー数十kW級大電力パルススパッタリング（HPPS）グロープラズマの生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT07024\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/05\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGeneration of droplet-free high-power pulsed-sputtering (HPPS) glow plasma with several tens of kilo-watts\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e行村 建(同志社大学),三枝亮介 (同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKen Yukimura(Doshisha University),Ryosuke Mieda(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルスグロー|パルスマグネトロンスパッタ|HIPMS|HPPMS|HPPS|Pulsed glow|Pulsed magnetron sputtering|Ionized sputtering|Highly charged metal ions|Highly density plasma|High power pulse sputtering|HIPIMS|HPPMS|HPPS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e448 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359281631471,"sku":"IEEJ-PPT07024-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_1330a4e9-bc9e-4bb4-8f90-b5df2c202b33.png?v=1743474184","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt07024","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}