{"product_id":"ieej-ppt07025","title":"CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT07025\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/05\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProduction of nitrogen-containing carbon shunting arc plasma for carbon nitride film preparation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e今西 圭吾(岩手大学),村上 貴之(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学),行村 建(同志社大学),須田 善行(北海道大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKeigo Imanishi(Iwate University),Takayuki Murakami(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University),Ken Yukimura(Doshisha University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eシャンティングアーク|複合プラズマ|プラズマイオン注入|CNx薄膜|Shunting arc|Hybrid plasma|plasma-based ion implantation|CNx thin film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e476 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359282450671,"sku":"IEEJ-PPT07025-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_674ca8a9-a9b5-4612-900c-1bc7d1b77252.png?v=1743474187","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt07025","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}