{"product_id":"ieej-ppt07045","title":"磁場ガイド放電プラズマを用いた長パルスEUV光源","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT07045\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/11\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eLong Pulse EUV Source using Discharge Produced Plasma guided by a Magenetic Field\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e寺田 健(東京工業大学),中島 充夫(東京工業大学),河村 徹(東京工業大学),細貝 知直(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学),堀岡 一彦(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTerada Takeshi(Tokyo Institute of Technology),Nakajima Mitsuo(Tokyo Institute of Technology),Kawamura Tohru(Tokyo Institute of Technology),Hosokai Tomonao(Tokyo Institute of Technology),Hotta Eiki(Tokyo Institute of Technology),Horioka Kazuhiko(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e極端紫外光|カスプ磁場|放電生成プラズマ|キャピラリー放電\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e極端紫外光源の高効率化のため、放電生成プラズマに対する電流波形、電流分布の効果を調べた。電流波形の制御としてダブルパルス放電、電流分布の制御としてテーパー型キャピラリーを用いた放電を行い、EUVパルスの持続時間が延長したことを確認した。また、テーパー型キャピラリー内でのプラズマの挙動を観測した。さらに高効率化を目指すため、カスプ磁場を用いる方法を提案した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eTo generate an e?cient extreme-ultraviolet (EUV) plasma source, e?ects of current pro?les on the plasma behavior are experimentally investigated. Results obtained by a two-step current discharge and discharge using a tapered capillary show that the pinchi\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e464 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359285006575,"sku":"IEEJ-PPT07045-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f2181c32-8945-4c3c-a3b6-2e72af51e467.png?v=1743474294","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt07045","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}