{"product_id":"ieej-ppt08024","title":"レーザーアシスト放電プラズマEUV光源の高効率化に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT08024\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/05\/29\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStudy on laser-assisted discharge plasmas for efficient EUV emission\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e勝木 淳(熊本大学),富丸薫文 (熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSunao Katsuki(Kumamoto University),Nobufumi Tomimaru(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eレーザーアシスト放電|プラズマ|極端紫外線光源|レーザーアブレーション|時間分解イメージング|パルスパワー|Laser-assisted discharge|plasma|extreme ultraviolet light source|laser ablation|time resolved imaging|pulsed power\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,358 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359322689775,"sku":"IEEJ-PPT08024-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_532f6a90-cb23-4281-bdbc-41497c2f4e3b.png?v=1743476504","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt08024","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}