{"product_id":"ieej-ppt09071","title":"高密度パルスプラズマ生成用高電圧?大電流パルス電源の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT09071\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/08\/08\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of high voltage large current pulse power supply for high energy density pulse plasma generation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e横田 達也(平和電源),坂本 哲也(平和電源),林 剛(平和電源),豊田 光廣(平和電源),坪井 仁美(ナノテック),平塚 傑工(ナノテック),中森 秀樹(ナノテック),行村 健(同志社大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTatsuya Yokota(Heiwa Dengen corporation),Tetsuya Sakamoto(Heiwa Dengen corporation),Tsuyoshi Hayashi(Heiwa Dengen corporation),Mitsuhiro Toyota(Heiwa Dengen corporation),Hitomi Tsuboi(Nanotec corporation),Masanori Hiratsuka(Nanotec corporation),Hideki Nakamori(Nanotec corporation),Ken Yukimura(Doshisya University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大電力パルス電源|高密度パルスプラズマ|大電力パルススパッタ|High-power pulse power supply|High energy density plasma|High-power pulse sputtering\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e730 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359380492527,"sku":"IEEJ-PPT09071-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4cd72b50-1ec8-4192-98b4-92085d6ab4a6.png?v=1743479253","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt09071","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}