{"product_id":"ieej-ppt09087","title":"対向電極型大電力パルススパッタグロー放電のガス変化における発光スペクトルの解析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT09087\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/08\/09\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe optical characteristic of gas change in confrontation electrode type High Power Pulsed Sputter(HPPS)glow discharge.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐久間 雄基(同志社大学),行村 建(同志社大学),東 欣吾(兵庫県立大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuki Sakuma(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Kingo Azuma(University of Hyogo),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルス放電プラズマ|グロー放電|高周波放電|ハイブリッド放電|大電力パルススパッタ|pulse electric discharge plasma|glow discharge|high frequency electric discharge|Hybrid electric discharge|high-power pulsed spattering\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e627 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359381475567,"sku":"IEEJ-PPT09087-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_455e5144-64ea-4cc7-bf4e-5691606d8cac.png?v=1743479323","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt09087","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}