{"product_id":"ieej-ppt10003","title":"放電プラズマEUV光源の繰返しに関する実験的考察","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT10003\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/01\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eLimitation of the repetition frequency of discharge based EUV sources\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e安井 大貴(熊本大学),渡辺 哲也(熊本大学),勝木 淳(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYASUI DAIKI(KUMAMOTO UNIVERSITY),WATANABE TETSUYA(KUMAMOTO UNIVERSITY),KATSUKI SUNAO(KUMAMOTO UNIVERSITY),SAKUGAWA TAKASHI(KUMAMOTO UNIVERSITY),AKIYAMA HIDENORI(KUMAMOTO UNIVERSITY)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e極端紫外線|ピンチ放電プラズマ|高繰り返し|放電生成物|レーザー誘起蛍光法|絶縁回復|EUV|pinched plasma|highly repetitive operation|discharge products|LIF|insulation recovery\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e次世代の半導体露光用光源として波長13.5 nmの高出力極端紫外線（Extreme ultraviolet；EUV）光源の開発が熾烈に進められている。EUVを発するパルス放電の高繰返し化は、EUV光の高出力化のためには避けられない技術である。また、ウェハ上へのフォトンドーズ量均質化のためにも有利である。放電を高繰返し生成するための課題は、放電を駆動するパルスパワー電源と放電生成ガスのクリアランスである。本研究では、放電によって生成されるSnガスの振舞いをレーザー誘起蛍光法（LIF）で調べ、また、放電電極間の絶縁回復を調べた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe will report the behavior of discharge products including tin vapor and droplets after the tin electrode Z-pinch discharge. The insulation recovery between the electrodes limits the maximum  repetition frequency of the plasma production for EUV source. \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,078 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359449600239,"sku":"IEEJ-PPT10003-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_66fc7ee3-5197-45b3-8b33-3a5926265c29.png?v=1743481874","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt10003","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}