{"product_id":"ieej-ppt10004","title":"パルスパワーを用いた大電流グロー放電プラズマの生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT10004\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/01\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProduction of a large-current glow plasma using pulsed power generator\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高木 浩一(岩手大学),八木 一平(岩手大学),向川 政治(岩手大学),藤原 民也(岩手大学),浪平 隆男(熊本大学),郷 冨男(一関工業高等専門学校)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakaki Koichi(Iwate University),Yagi Ippei(Iwate University),Mukaigawa Seiji(Iwate University),Fujiwara Tamiya(Iwate University),Namihira Takao(Kumamoto University),Go Tomio(Ichinoseki National College of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eグロー放電プラズマは、活性種・励起種などを豊富に含み、空間的均一性も高く、ガス温度は低いなどの特性を有しており、このため成膜、スパッタ、表面改質などの材料プロセスに、多く用いられる。報告では、パルス電源を用いた、100Aを超える大電流グロー放電プラズマの発生やその特性について述べる。比較的気圧が高い場合や電流が大きい場合、陰極付近のシースに投入されるエネルギー密度が高くなり、熱的不安定性が生じ、アーク放電へと転移しやすい。報告では、熱的不安定性を起こすエネルギー密度について述べ、その後、そのエネルギー直前で電圧を遮断し、グロー放電プラズマを発生させた結果を述べる。発生させたプラズマは、スオームデータを基礎とした解析や、分光法で、密度やエネルギーについて解析を行った。エネルギーの解析は、ガス温度、分子の振動温度について行った。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,080 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359449633007,"sku":"IEEJ-PPT10004-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_aeeb4951-36f6-4807-b2c9-f17a46bcae47.png?v=1743481877","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt10004","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}