{"product_id":"ieej-ppt10023","title":"EUVリソグラフィのためのＺピンチ Xe DPP プラズマ光源に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT10023\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/02\/23\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eXe-based Z-pinch Discharged Produced Plasma (DPP) EUV Source for Lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e黄 斌(東京工業大学),滝本 泰大(東京工業大学),渡辺 正人(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHuang Bin(Tokyo Institute of Technology),Takimoto Yasuhiro(Tokyo Institute of Technology),Watanabe Masato(Tokyo Institute of Technology),Hotta Eiki(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eEUV|xenon|plasma dynamics|pinhole image|photodiode\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eEUVリソグラフィは次世代の半導体リソグラフィ技術として最も期待されてい る。我々はZピンチの動態を解析しました，X線CCDカメラとピンホールの画像を撮影しました，フォトダイオードとの極端紫外の信号を測定しました。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eEUV Lithography is considered as the most promising technique for next generation lithography.  We analyzed the pinch dynamics, took the pinhole images with an X-ray CCD camera and  measured the EUV signal with a photodiode\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e3,005 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359451009263,"sku":"IEEJ-PPT10023-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_11625a56-38b0-40eb-a548-e16248f1e7bd.png?v=1743481943","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt10023","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}