{"product_id":"ieej-ppt10115","title":"Low temperature growth of AlN thin film by pulse laser deposition in nitrogen ambient","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT10115\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/12\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eLow temperature growth of AlN thin film by pulse laser deposition in nitrogen ambient\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e王 植平(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学),升方 勝己(富山大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eWang Zhiping(Univ. of Toyama),Ito Hiroaki(Univ. of Toyama),Masugata Katsumi(Univ. of Toyama)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e窒化アルミニウム|パルスレーザー堆積|薄膜|Aluminum nitride|pulse laser deposition|thin film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eパルスレーザー堆積法を用いて六方晶系窒化アルミニウム(AlN)薄膜をシリコン基板上に成膜させた。実験は基板温度350℃に設定して、窒素ガス圧力を真空から 6 Paの範囲で変化させてAlN薄膜の特性をXRDとFTIR等を用いて評価を行った。その結果、窒素ガス0.2 Paのとき、AlN薄膜は単結晶となり、表面粗さが最も小さくなった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eHexagonal aluminum nitride(AlN) thin films were grown on Si(100) substrates by pulse laser deposition(PLD). All the samples were prepared at a low substrate temperature of 350℃ and under various nitrogen pressures, ranging from vacuum up to 6 Pa. Formation of AlN was confirmed by XRD and FTIR measurements. Film deposited at 0.2 Pa was found to be single-crystal and wit lowest roughness.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e798 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359458906351,"sku":"IEEJ-PPT10115-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_745909bf-3820-4ac6-95d6-865acb6b79f5.png?v=1743482337","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt10115","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}