{"product_id":"ieej-ppt10120","title":"高感度チャージプレートモニターとバイアスグリッドを用いた空気イオンバランス制御システム","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT10120\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/12\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAtmospheric Ion Balance Control System Using High Sensitivity Charged Plate Monitor and Biased Grid\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003eナインゴーラン シモン(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),岡野 一雄(職業能力開発総合大学校)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNainggolan Simon(Ibaraki University),Ikehata Takashi(Ibaraki University),Sato Naoyuki(Ibaraki University),Okano Kazuo(University of Industrial Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e静電気|イオナイザ|空気イオン|制御グリッド|フィードバック制御|電位センサー|electrostatics|ionizer|atmospheric ions|control grid|feedback control|voltage sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e静電気障害の対策としてイオナイザが広く使用されている。しかし、デバイスの微細化に伴い、イオナイザが生成した正負のイオンバランスを1.0 V以下に制御することが要求されている。そこで、輸送領域内にグリッドを設け、電圧を印加し、イオンバランスの制御を試みた。また、イオンバランスの測定器として高感度チャージプレートモニターを開発し、グリッドと組み合わせ、イオンバランスの自動制御システムの製作を試みた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eIonizer has been widely used to neutralize charged devices. However, charge balance of ionizer is demanded to be less than 1.0 V with the device refinement. To achieve this requirement, we are proposing ion balance control system with control grid and high sensitivity charged plate monitor.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e828 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359459168495,"sku":"IEEJ-PPT10120-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9d85e085-4378-46ee-b0cf-753a31974b7d.png?v=1743482357","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt10120","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}