{"product_id":"ieej-ppt11044","title":"CF4\/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電におけるCF4分解特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT11044\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/10\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCF4 decomposition using atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF4\/noble gas mixtures\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e井出 存(首都大学東京),白井 直機(首都大学東京),杤久保 文嘉(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eIde Tamotsu(Tokyo Metropolitan University),Shirai Naoki(Tokyo Metropolitan University),Tochikubo Fumiyoshi(Tokyo Metropolitan University),Uchida Satoshi(Tokyo Metropolitan University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e誘電体バリア放電|パックドベッド放電|非熱平衡大気圧プラズマ|大気圧グロー放電|ＣＦ４分解|発光分光分析|dielectric barrier discharge|packed-bed discharge|atmospheric pressure nonthermal plasma|atmospheric pressure glow discharge|CF4 decomposition|emission spectroscopy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eCF4を含むパーフルオロカーボン類(PFCs)は，半導体産業において広く利用されているが、温室効果ガスであるため排出削減技術が実践されている。その中の一つにプラズマ分解を用いたPFCs除外装置がある。本報告では、同軸円筒型の誘電体バリア放電および、電極間にガラスビーズ等を入れたパックドベッド放電における実験を行い、各放電における放電特性、CF4の分解特性を報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eAtmospheric pressure nonthermal plasma is the promising tool for efficient decomposition of perfluoro- carbons(PFCs) including CF4. In this work, we investigated the gas discharge properties such as voltage-current characteristics, optical emission spectrosopies and CF4 decomposition efficiency in dielectric barrier discharge and packed-bed discharge in CF4\/noble gas mixtures. The packed-bed discharge is the one prepared by packing glass beads in the dielectric barrier discahrge. \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,290 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46359522738415,"sku":"IEEJ-PPT11044-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bef59f15-06b8-461a-b2e5-06308d5b6ab7.png?v=1743485322","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt11044","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}