{"product_id":"ieej-ppt11082","title":"立方晶窒化ホウ素膜のプラズマ合成と電界放出特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT11082\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/12\/15\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePlasma synthesis and field emission properties of cubic boron nitride films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e堤井 君元(九州大学),中隈 俊就(九州大学),松本 精一郎物質・材料研究機構(物質・材料研究機構,九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTEII KUNGEN(Kyushu University),NAKAKUMA TOSHINARI(Kyushu University),MATSUMOTO SEIICHIRONational Institute for Materials Science (National Institute for Materials Science,Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e窒化ホウ素|プラズマＣＶＤ|イオン衝撃エネルギー|電界放出|boron nitride|plasma CVD|ion bombardment energy|field emission\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eワイドギャップ材料の立方晶窒化ホウ素膜を、低圧プラズマCVD法によって合成し、その電界放出特性を調べた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe deposited wide-gap cubic boron nitride films by low-pressure plasma-enhanced CVD and examined their field emission properties.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e810 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46359462707439,"sku":"IEEJ-PPT11082-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2c941c4b-cf7c-424d-b644-b2fa8b34e58b.png?v=1743482443","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt11082","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}