{"product_id":"ieej-ppt11092","title":"レーザアブレーションスズプラズマの電子密度の時間空間分布","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT11092\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/12\/16\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eTemporal and spatial electron density distributions of the laser ablation tin plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e武藤 敬宏(東京工業大学),朱 秋石(東京工業大学),渡辺 正人(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMuto Takahiro(Tokyo Institute of Technorogy),Zhu Qiushi(Tokyo Institute of Technorogy),Watanabe Masato(Tokyo Institute of Technorogy),Hotta Eiki(Tokyo Institute of Technorogy)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電子密度|ＥＵＶリソグラフィ|レーザ生成プラズマ|Electron density |EUV lithography|Laser produced plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eEUVリソグラフィ用光源として応用されるレーザアシスト型放電生成スズプラズマの放電課程を理解するため，レーザ生成スズプラズマの電子密度の時間空間分布が測定された。プラズマ生成のために，パワー密度3.5×10^11 W\/cm^2のNd:YAGレーザがレンズを通して固体スズ表面に照射される。電子密度はSn IIのスペクトル線のシュタルク広がりとノマルスキー微分干渉計の2つの方法によって測定された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,783 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359527358703,"sku":"IEEJ-PPT11092-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_87ca0a1c-c072-411e-93c4-74ef4ca9247f.png?v=1743485631","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt11092","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}