{"product_id":"ieej-ppt13081","title":"EUVL用レーザートリガー放電プラズマの放電後の現象に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT13081\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/10\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eInvestigation on Post-Discharge Phenomena of Laser-Triggered Discharge Plasma for EUVL\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003eLim Soowon(熊本大学),Lu Peng(熊本大学),北島 清也(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学),勝木 淳(熊本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eLim Soowon(Kumamoto University),Lu Peng(Kumamoto University),Kitajima Seiya(Kumamoto University),Sakugawa Takashi(Kumamoto University),Akiyama Hidenori(Kumamoto University),Katsuki Sunao(Kumamoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e極端紫外線|レーザートリガー|液滴|シュリーレン法|放電|EUV|Laser trigger|Droplet|Schlieren method|Discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e極端紫外線（EUV）ソースの高繰り返し動作は、大量生産を行うために必要である。この論文では、レーザートリガーEUVソースの繰り返し周波数が、放電後に生成される液滴の影響によって制限されると述べている。本研究では、Schlieren法を使用して、放電後の現象を観察した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eExtreme ultraviolet (EUV) sources require high-frequency operation to satisfy high-volume manufacturing requirements. This paper explains how the effect of droplets limits the repetition rate of laser-triggered discharge of EUV sources. The post-discharge phenomena were observed using the schlieren method.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,364 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359624679663,"sku":"IEEJ-PPT13081-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c29682c8-4b77-4a39-a19b-c41c5afa8ee5.png?v=1743489462","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt13081","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}