{"product_id":"ieej-ppt14004","title":"パルスマグネトロングロープラズマの磁場制御","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT14004\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/01\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eControl of Pulsed Magnetron Glow Plasma Using Magnetic Ffield\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小西 匠(岩手大学院),高木 浩一(岩手大学),行村 建(岩手大学,産業技術総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakumi Konishi(Department of Electrical and Electronic Engineering,Iwate University),Koichi Takaki(Department of Electrical and Electronic Engineering,Iwate University),Ken Yukimura(the Department of Electrical and Electronic Engineering,Iwate University,Morioka 020-8551,Japan and also with the Nanoelectronics Research Institute,National Institute of Advanced Industrial Science and Technology-Tsukuba)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマグネトロンスパッタ|ダイヤモンドライクカーボン|グロープラズマ|Magnetron sputtering|Diamond-like carbon|Glow plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eカーボンターゲット背面に設置したネオジウム磁石の配置を変えることで、ターゲット上空間に形成される磁界を制御した。形成されるプラズマを分光器を用いて観測した。マグネトロンカソードの内部磁石の個数を減らすことで、プラズマが生成される領域がアース板から遠ざかった。その結果、アーク放電への移行が遅れ、より高い電圧を印加することができ、高密度のグロープラズマを生成することができた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThe magnetic field distribution was arranged using neodymium magnets which were put behind a carbon target disk.The pulse magnetron glow plasma generated along a race trace i.e. maximum amplitude of radial magnetic field. The power deposition and the plasma density increased with increasing pulse voltage applied to the carbon target.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,721 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359672750319,"sku":"IEEJ-PPT14004-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3fdc4df6-3b18-420c-9012-b015f0dc06ae.png?v=1743491197","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt14004","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}