{"product_id":"ieej-ppt16055","title":"RFマグネトロンスパッタリングにより合成したPVDF薄膜の評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT16055\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/10\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAssessment of PVDF thin film prepared by RF magnetron sputtering\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高田 祐輔(佐賀大学),菅原 光星(佐賀大学),大津 康徳(佐賀大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYUSUKE TAKADA(Saga University),KOUSEI SUGAWARA(Saga University),YASUNORI OHTSU(Saga University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマ|薄膜|スパッタリング|撥水|表面加工|ポリカーボネート|Plasma|Thin film|Sputtering|Hydrophobic|Surface treatment|Polycarbonate\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eターゲット材としてフッ素樹脂のポリフッ化ビニリデン（PVDF）を用い、アルゴンガスでRFマグネトロンスパッタリングにより薄膜合成を行った。薄膜合成における様々なパラメータ（例えば注入電力とガス圧力など）を変えて水滴接触角、原子間力顕微鏡およびX線光電子分光により評価した。パラメータの変化、特にガス圧力に応じて、異なる形態および化学組成を得た。これらの薄膜は、40.9~105.2°の水滴接触角を有していた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eUsing a Polyvinylidene fluoride (PVDF) as a target, thin films were prepared by RF magnetron sputtering in Argon. PVDF thin-film was assessed by Water-Contact-Angle, AFM and XPS at various parameters. The morphology and chemical composition in thin film depended on gas pressure especially. These films possessed WCA of 40.9 ~ 105.2 °.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,511 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46359770169583,"sku":"IEEJ-PPT16055-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c1e5a04a-4271-4a78-907a-8e9558b628ea.png?v=1743495251","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt16055","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}