{"product_id":"ieej-ppt16057","title":"対向円筒型ターゲットを用いたRF磁化放電スパッタによるAZO透明導電薄膜合成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT16057\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/10\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAZO transparent conductive thin film synthesis by RF magnetized discharge sputtering using facing cylindrical targets\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e住山 貴史(佐賀大学),福元 喬也(佐賀大学),大津 康徳(佐賀大学),田原 竜夫(産業技術総合研究所九州センター),本村 大成(産業技術総合研究所九州センター)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakashi Sumiyama(Saga University),Takaya Fukumoto(Saga University),Yasunori Ohtsu(Saga University),Tatsuo Tabaru(AIST Kyushu),Taisei Motomura(AIST Kyushu)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e透明導電膜|スパッタリング|ホロー電極|マグネトロンスパッタ|プラズマ|薄膜|Transparent Conductive Films|Sputtering|Hollow electrode|Magnetron sputtering|Plasma|Thin film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、ZnOにAlを混ぜたAZOと呼ばれる透明導電膜がITOの代替物として注目されている。マグネトロンスパッタ法による薄膜合成では、抵抗率の分布が不均一になる課題が残されている。その解決方法として、ターゲット板を向い合せた対向ターゲットスパッタ法があるが、処理速度が低下する欠点がある。本研究では、ホロー電極内にAZO円筒ターゲットリングを配置し、低圧力で高密度なプラズマを発生させることで、AZO膜の成膜を行う。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eRecently, the transparent conductive film called AZO(Al doped ZnO) has been attracted. There is a problem that the distribution of the resistivity is not uniform. In this study, AZO thin film is deposited by RF magnetized high-density plasma sputtering with facing AZO cylindrical targets mounted in the hollow electrode.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,739 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46359770300655,"sku":"IEEJ-PPT16057-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3b5e8f7f-e0e8-45dc-8162-136e1893db1a.png?v=1743495267","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt16057","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}