{"product_id":"ieej-ppt17063","title":"ループ型Ar\/N2\/H2誘導熱プラズマを用いたTi基板表面の高速窒化試験","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePPT17063\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/10\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eRapid Nitridation of Ti Surface using Ar\/N2\/H2 Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e藤田 敦士(金沢大学),土谷 拓光(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(株式会社シー・ヴィ・リサーチ),川浦 廣(株式会社シー・ヴィ・リサーチ)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAtsushi Fujita(Kanazawa University),Takumi Tsuchiya(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto(CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura(CV Research Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e誘導熱プラズマ|ループ型|高速窒化|Ｔｉ|ＸＲＤ|Inductively Coupled Thermal Plasma|Loop Type|Rapid Nitridation|Titanium|X-Ray Diffraction\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本論文では，ループ型Ar\/N2\/H2誘導熱プラズマ(ICTP)を用いたTi基板の高速窒化試験の結果を報告する。ループ型ICTP装置は，熱プラズマによる大面積表面処理を目指し，筆者らが独自開発した。ループ型ICTPの一部を基板上に生成・維持することで，基板全体に熱プラズマ照射できる。ICTPの圧力，ArおよびH2流量を様々に設定し，基板に照射した。生成された窒化膜の組成をXRDなどで分析評価した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThis paper describes experimental results on rapid surface nitridation of Ti substrates using a loop type of Ar\/N2\/H2 inductively coupled thermal plasma (loop-ICTP) torch. The Ar\/N2\/H2 loop-ICTP was irradiated directly to a Ti substrate to fabricate nitridation layer. Experiments were conducted with varying pressure, Ar flow rate and H2 flow rate. The fabricated nitride layer were evaluated by X-Ray Diffraction method.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,252 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46359834296559,"sku":"IEEJ-PPT17063-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e5c3c8f9-3157-4e04-a09d-83b1eaf4a019.png?v=1743497376","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ppt17063","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}