{"product_id":"ieej-pst05051","title":"表面波励起低圧フラズマCVD によるカーボンナノ物質の合成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST05051\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/08\/04\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCarbon nanomaterial depositions using surface-wave excited low-pressure plasma CVD\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eJaeho Kim Kazuo Terashima Makoto Katsurai(University of Tokyo)()\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eフラズマCVD,表面波フラズマ,マイクロ波プラズマ,ナノクリスタルダイヤモンド,カーボンナノウォール\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,656 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359747395823,"sku":"IEEJ-PST05051-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_73f962c6-928a-4219-9ebc-4c054bdbd145.png?v=1743494651","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst05051","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}