{"product_id":"ieej-pst05073","title":"UBM-PBII複合法を用いたTiミキシング層の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST05073\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/10\/27\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFormation of Ti Mixing Layer by Hybrid Process of Unbalanced Magnetron Sputtering and Plasma-Based Ion Implantation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小野 武雄 上村 雅治 八束 充保(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakeo Ono Masaharu Uemura Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)()\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eアンバランスドマグネトロン(UBM),プラズマイオン注入(PBII),窒化チタン(TiN)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e673 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359745331439,"sku":"IEEJ-PST05073-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b5ed4d9d-eb50-41c8-9f8b-b3ece693d5c0.png?v=1743494517","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst05073","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}