{"product_id":"ieej-pst05074","title":"RF・高電圧パルス重畳PBIID 法における二次電子発生とプラズマ発光","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST05074\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/10\/27\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSecondary Electron Emission and Plasma Emissions from Three-dimensional Sample Surface in the System of Superimposed RF and High Voltage Pulse PBIID\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e西川 圭ー 岡 好浩 藤原 閲夫 八束 充保(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKeiichi Nishikawa Yoshihiro Oka Etsuo Fujiwara Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)()\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマイオン注入成膜法(PBID),プラズマ発光,二次電子放出\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e746 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359745396975,"sku":"IEEJ-PST05074-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_eef2d647-ba74-4379-b33f-16a0c6a7a64e.png?v=1743494520","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst05074","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}