{"product_id":"ieej-pst05084","title":"多層膜合成用のT\/クランクーハイブリッドFADの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST05084\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/10\/27\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of T\/Crank-Hybrid Filtered Arc Deposition Apparatus for multilayer films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e彦坂 博紀 岩崎 康浩 滝川 浩史 榊原 建樹 長谷川 祐史 辻 信広(豊橋技術科学大学,株式会社オンワード技研)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroki Hikosaka Yasuhiro Iwasaki Hirofumi Takikawa Tateki Sakakibara(Toyohashi University of Technology) Hiroshi Hasegawa Nobuhiro Tuji(Onward Ceramic Coating Co.Ltd)()\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eX 字状フィルタードアーク蒸着(X-FAD) 装置,水素フリ一DLC (ta-C) 膜,Cr 膜,超硬基材,接着層\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e907 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359745036527,"sku":"IEEJ-PST05084-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_aff143da-bc25-4577-861d-2e819c868a3f.png?v=1743494491","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst05084","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}