{"product_id":"ieej-pst06017","title":"原料ガス分離分解型プラズマCVD法により生じるH2-N2プラズマ状態の解析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST06017\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/01\/12\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDiagnostic studies in H2-N2 plasmas generated by source-gases separated plasma CVD method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e仲田英 (東京電機大学),蛭田 泰隆(東京電機大学),本橋 光也(東京電機大学),本間 和明(東京電機大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHideki Nakada(Tokyo Denki University),Yasutaka Hiruta(Tokyo Denki University),Mitsuya Motohashi(Tokyo Denki University),Kazuaki Homma(Tokyo Denki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマCVD|プローブ法|発光分光分析|H2-N2プラズマ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e794 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46359234347247,"sku":"IEEJ-PST06017-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0f72c878-5e22-44a3-9185-aab2932350dd.png?v=1743472520","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst06017","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}