{"product_id":"ieej-pst06019","title":"接点開離金属アークを種とする正バイアス電極を用いた複合プラズマ生成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST06019\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/01\/13\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHybrid plasma generation using positive bias electrode based on a metallic discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e行村 建(同志社大学),明石 周平(同志社大学),池畑 隆(茨城大学),佐藤直幸 (茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKen Yukimura(Doshisha University),S. Akashi(Doshisha University),T･ Ikehata(Ibaraki University),N. Sato(Ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e金属アーク|PBII\u0026amp;D|イオン注入|蒸着\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,091 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359234707695,"sku":"IEEJ-PST06019-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0fb8020d-4b88-442a-918d-4febf38b2538.png?v=1743472536","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst06019","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}