{"product_id":"ieej-pst06048","title":"シャンティングアークによりトリガされた正バイアス電極に発生する誘起プラズマ特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST06048\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/05\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA hybrid plasma generation triggered by shunting arc discharge using a positively-biased electrode\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e行村建(同志社大学),今井 貴文(同志社大学),イゴールレフチェンコ(シドニー大学),高木 浩一(岩手大学),池畑隆(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eK. Yukimura|T. Imai|I. Levchenko|K. Takaki\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eアーク放電|誘起プラズマ|複合プラズマ|シャンティングアーク|プラズマイオン注入堆積法\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e915 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46359237984495,"sku":"IEEJ-PST06048-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_76b1d0d3-2305-4c60-85b0-fbec1ea955fc.png?v=1743472644","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst06048","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}