{"product_id":"ieej-pst06051","title":"高周波放電酸素プラズマによる固体表面洗浄","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST06051\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/05\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSolid surface cleaning by means of RF discharge oxygen plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤 和明(武蔵工業大学),吉田 優弥(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKazuaki Sato(Musashi Institute of Technology),Yuya Yoshida(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e高周波|低圧プラズマ|酸素|放電洗浄|ステンレス|接触角|X線光電子分光法\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,033 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359238115567,"sku":"IEEJ-PST06051-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_316d576d-e8d6-4879-81f8-8d4dd78b8dcf.png?v=1743472659","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst06051","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}