{"product_id":"ieej-pst06071","title":"減圧マルチガス誘導結合プラズマ源","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST06071\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/08\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eLow Pressure Multi-Gas Inductively Coupled Plasma Source\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e景安泰千 (東京工業大学),瀧本和靖 (東京工業大学),熊谷 航(東京工業大学),宮原 秀一(東京工業大学),渡連 正人(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学),沖野 晃俊(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTaichi Kageyasu(Tokyo Institute of Technology),Kazuyasu Takimoto(Tokyo Institute of Technology),Wataru Kumagai(Tokyo Institute of Technology),Hidekazu Miyahara(Tokyo Institute of Technology),Masato Watanabe(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology),Akitoshi Okino(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e誘導結合プラズマ|減圧プラズマ|マルチガスプラズマ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,112 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359240900847,"sku":"IEEJ-PST06071-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_6fbec219-218b-48ae-a165-01874fad3601.png?v=1743472742","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst06071","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}