{"product_id":"ieej-pst06085","title":"プラズマイオン注入成膜法で作製したDLC膜中のピンホール欠陥の評価と抑制","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003ePST06085\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　プラズマ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/11\/10\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEvaluation and Reduction of Pinhole Defects in DLC Film Prepared with Plasma-based Ion Implantation and Deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e西野 航(兵庫県立大学),藤原 閲夫(兵庫県立大学),内田 仁(兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eWataru Nishino(University of Hyogo),Etsuo Fujiwara(University of Hyogo),Hitoshi Uchida(University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eダイヤモンドライクカーボン|ピンホール欠陥|プラズマイオン注入成膜法|臨界不動態電流密度|耐食性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,582 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46359241982191,"sku":"IEEJ-PST06085-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0f72c24d-ab21-4bd1-9ef8-3d4c80b8520d.png?v=1743472796","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-pst06085","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}